SJ/T 11707-2018 硅通孔几何测量术语
标准编号：SJ/T 11707-2018
标准名称：硅通孔几何测量术语
语 言：简体中文版、英文版
发布日期： 实施日期：
标准状态：现行
标准介绍：【SJ/T 11707-2018 硅通孔几何测量术语】本标准规定了硅通孔尺寸的几何测量术语和定义。
本标准适用于硅通孔尺寸的几何测量，其中硅通孔可完全贯穿硅晶圆，也可部分贯穿硅晶圆；硅通孔内可含有金属导体及其他介质，也可不包含金属导体及其他介质。
标准类别：SJ电子标准
授权方式：免费下载
文件格式纸质版或者PDF电子版或Word版本doc格式
标准关注次数：
添加日期：2018-03-21 13:00:27
相关查询：几何 术语 测量
-
更新时间：2018-03-21 13:00:27
