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GB/T 35306-2017 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法

  • 标准编号:GB/T 35306-2017
  • 标准名称:硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
  • 语 言:简体中文版、英文版
  • 发布日期: 实施日期:
  • 标准状态:现行

  • 标准介绍:【GB/T 35306-2017 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法】本标准规定了低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧杂质含量的方法。
    本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω·CM的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5 Ω·CM的P型硅单晶中代位碳、间隙氧杂质含量的测定。
  • 标准类别:GB国家标准
  • 授权方式:免费下载
  • 文件格式纸质版或者PDF电子版或Word版本doc格式
  • 标准关注次数:
  • 添加日期:2018-04-03 13:46:00
  • 相关查询:硅单晶 光谱 低温 测定 变换 红外 含量