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GB/T 35310-2017 200mm硅外延片

  • 标准编号:GB/T 35310-2017
  • 标准名称:200mm硅外延片
  • 语 言:简体中文版、英文版
  • 发布日期: 实施日期:
  • 标准状态:现行

  • 标准介绍:【GB/T 35310-2017 200mm硅外延片】本标准规定了直径200MM硅外延片的术语和定义、产品分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书等。
    本标准适用于在N型和P型硅抛光衬底片上外延生长的硅外延片。产品主要用于制作集成电路或半导体器件。
  • 标准类别:GB国家标准
  • 授权方式:免费下载
  • 文件格式纸质版或者PDF电子版或Word版本doc格式
  • 标准关注次数:
  • 添加日期:2018-04-02 08:21:26
  • 相关查询:外延