GB/T 35310-2017 200mm硅外延片
标准编号:GB/T 35310-2017
标准名称:200mm硅外延片
语 言:简体中文版、英文版
发布日期: 实施日期:
标准状态:现行
标准介绍:【GB/T 35310-2017 200mm硅外延片】本标准规定了直径200MM硅外延片的术语和定义、产品分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书等。
本标准适用于在N型和P型硅抛光衬底片上外延生长的硅外延片。产品主要用于制作集成电路或半导体器件。
标准类别:GB国家标准
授权方式:免费下载
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添加日期:2018-04-02 08:21:26
相关查询:外延
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更新时间:2018-04-02 08:21:26