GB/T 34899-2017 微机电系统（mems）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
标准编号：GB/T 34899-2017
标准名称：微机电系统（mems）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
语 言：简体中文版、英文版
发布日期： 实施日期：
标准状态：现行
标准介绍：【GB/T 34899-2017 微机电系统（mems）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法】本标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统（MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。
本标准适用于微机电系统（MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。
标准类别：GB国家标准
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标准关注次数：
添加日期：2018-04-20 11:31:02
相关查询：微结构 拉曼 应力 光谱 微机 表面
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更新时间：2018-04-20 11:31:02
