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微机电系统（mems）技术 基于光学干涉的mems微结构残余应变测量方法
GB/T 34900-2017 微机电系统（mems）技术 基于光学干涉的mems微结构残余应变测量方法
标准编号：GB/T 34900-2017
标准名称：微机电系统（mems）技术 基于光学干涉的mems微结构残余应变测量方法
语 言：简体中文版、英文版
发布日期： 实施日期：
标准状态：现行
标准介绍：【GB/T 34900-2017 微机电系统（mems）技术 基于光学干涉的mems微结构残余应变测量方法】本标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微双端固支梁结构表面形貌进行残余应变测量的方法。
本标准适用于表面反射率不低于4%且使用光学干涉显微镜能够获取表面形貌的微双端固支梁结构。
标准类别：GB国家标准
授权方式：免费下载
文件格式纸质版或者PDF电子版或Word版本doc格式
标准关注次数：
添加日期：2018-04-20 11:31:02
相关查询：微结构 残余 应变 微机 干涉 光学
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更新时间：2018-04-20 11:31:02
